產品概要

CG高低溫真空探針臺是SEMISHARE多年來技術積累的創新成果，同時SEMISHARE也是國內較早自主研發推出的高低溫真空探針臺，CG高低溫真空探針臺能夠實現樣品在真空高低溫環境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試。2016年，SEMISHARE參與由哈工大和中國航天科技集團共建的“空間環境地面模擬裝置”部分技術設計項目，其在超低溫，超高真空，自動控制，激光模擬方面發揮著獨有的技術優勢。

基本信息

應用方向

CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的I-V/C-V特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等。

技術特點

一、真空腔體

真空腔體采用外腔和屏蔽腔雙腔體結構，為樣品測試提供極限壓力為10-4Pa的真空環境。低溫測試時，避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結成露水，從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測試失敗。同時，由于真空絕熱作用可是有效的提供制冷效率。高溫測試時，避免了空氣中的氧氣氧化樣品，從而避免樣品電性誤差、物理和機械上的形變。

二、探針臂XYZ調節機構

探針臂XYZ調節機構采用了自鎖絲杠和交叉滾子導軌的結構，實現了探針定位精確為10um，探針漂移量優于±60nm/30mins的高精度點針。同時，采用三軸管狀夾具和高屏蔽功能的三軸線纜，從而實現測試漏電精度達50FA。

三、探針熱沉設計，定位更精準

SEMISHARE直流探針臂均配有兩次熱沉設計，第一次探針臂熱沉在防輻射屏上、第二次探針通過陶瓷夾具熱沉在樣品臺上。SEMISHARE的熱沉設計能夠有效的降低探針臂與測試器件的溫差，提高了測試數據的精確性。

四、顯微鏡調節機構

顯微鏡調節機構通過調節支撐架的伸縮、高低以及顯微鏡自帶調節座，可觀測樣品任意區域。20倍目鏡和0.8倍-5倍的物鏡變焦倍率，從而實現樣品16X-100X的放大倍率。

五、制冷劑流量調節系統

制冷劑調節系統由杜瓦罐、壓縮氮氣壓力控制閥及精密調節的針閥組成?？刂频蜏貢r，通過調節壓縮氮氣壓力控制閥來調節杜瓦罐中的壓力，從而控制制冷劑流出的壓力，繼而調節制冷劑的流量；通過調節精密針閥進而精密控制制冷的流量，最終實現精準的低溫控溫功能。

六、制冷劑同軸回路

制冷劑同軸回路使制冷劑從中間進入管路進入樣品臺，流經屏蔽腔底板腔室，在回流至同軸回路外層回流管中，最后通過排氣口排放到室外。制冷劑同軸回路使得制冷劑在排出的過程中加以利用，營造相對室溫低很多的環境，抑制了進入樣品臺的制冷劑的提前消耗，從而提高制冷劑的制冷效率，較少制冷劑的消耗。

七、防震平臺

防震系統采用進口韓國大一公司的空氣彈簧式支撐架的防震平臺。通過空氣彈簧的形狀、材質、彈簧室的容積及補助罐容積、阻尼孔徑和水平調節閥等一系列減震設計，實現該系統垂直本征頻率為1.5Hz，水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率，承重達400Kg的優異承載能力。從而有效避免細微低頻率頻帶的振動給測試帶來的不利影響。