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SC系列探針臺
產品概要
C12高低溫探針臺具有優異的機械系統，結構性能穩定，人體工程學設計，操作便捷，支持多功能升級，功能豐富全面。該產品主要應用于集成電路，LED，LCD，太陽能電池，半導體行業的制造和研究領域。
基本信息
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產品型號 |
C12 |
工作環境 |
高低溫環境 |
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電力需求 |
220VC,50~60Hz |
操控方式 |
手動 |
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產品尺寸 |
1400mm*920mm*920mm |
設備重量 |
150KG/170KG/250KG |
應用方向
高低溫環境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，材料/器件的I-V/C-V特性測試、0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試等
| 規格 | SC-6 | SC-8 | SC-12 | |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1400mm*920mm*920mm | |
| 重量 | 150公斤 | 約170公斤 | 約250公斤 | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉 | 8英寸，可360度旋轉 | 12英寸，可360度旋轉 |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移動精度 | 1um | |||
| 切換樣品功能 | 樣品臺快速拉出 | |||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | |||
| 電學運用 | 電學獨立懸空，可作為背電極使用 | |||
| 針座平臺 | 規格 | O型平臺，可放置8個針座 | O型平臺，可放置10個針座 | O型平臺，可放置12個針座 |
| 行程&調節方式 | 平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，升降精度1um | |||
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | |||
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |||
| 很低控溫速率 | ±0.1°C /小時 | |||
| 制冷方式 | 液氮制冷 | |||
| 光學特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | ||
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡氣動升降 | |||
| 放大倍數 | 16~100X/20~4000X | |||
| 鏡頭規格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） | |||
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | |||
| 點針規格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
| 機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
| 漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時） | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 | |||
| 應用方向 | 高低溫環境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 | |||
| 可選附件 | 探針卡夾具 | 防震臺 | 低電流/電容測試 | |
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 | ||
| 同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 | |||
| 射頻測試附件 | 光強/光譜/波長測試選件 | PCB/封裝夾具測試選件 | ||
| 高壓/大電流測試套裝 | 有源探頭 | 特殊定制 | ||
| 屏蔽箱 | 轉接頭 | |||
| 特點 | ||||
| 非真空環境下的低溫測試，可達-100℃ | 大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計 | |||
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動 | 0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試 | |||
| 高等院校/研究所/公司實驗室使用 | LD/LED/PD的光強/波長測試 | |||
| 支持12英寸以內樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 | |||
| 同軸絲杠傳動結構，線性移動 | 器件的高頻特性(支持高至300GHz頻率) | |||
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