探針臺如何選型
探針臺的選型需要根據具體應用需求和預算(能否做免稅)。
應用方面需要確定以下的問題:
1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片, 最小的單顆芯片尺寸?
2、 探針臺機械精度要求多高?
3、 點測樣品的電極尺寸?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內部的metal線路?
4、 最多需要幾根探針同時去點測?
5、 是否會用到探針卡測試?
6、 光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?
7、 顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?
8、 探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下?低電容的要求是否要做到0.1pf?是否有射頻的需求?
9、 接駁的測試儀器接口有哪些?
10、測試環境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?
11、對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?
12、是否需要防震桌?
13、若添置防震桌,是否有壓縮空氣?